在精密光學實驗、掃描探針顯微鏡（SPM）、電子顯微鏡、納米壓痕、激光干涉測量及高精度計量領域，振動是影響數(shù)據準確性的關鍵。氣浮隔振平臺利用壓縮氣體在平臺與基座間形成微米級氣膜，有效隔離來自地面、設備或人員走動的低頻振動（1-30Hz），為精密儀器提供穩(wěn)定的環(huán)境。然而，其性能發(fā)揮高度依賴正確的安裝與操作方法。掌握氣浮隔振平臺的科學使用技巧，是駕馭它的關鍵。
一、環(huán)境選擇
平臺應放置于遠離大型機械、電梯、空壓機等強振源的實驗室區(qū)域。地面需堅實、平整、無明顯傾斜。避免陽光直射或空調出風口直吹，防止溫度梯度引起空氣擾動。確保周圍有足夠的操作空間，便于氣路連接與儀器布置。
二、水平調節(jié)
使用高精度水平儀（分度值≤0.02mm/m）調整平臺底部的可調支腳，使臺面在X、Y方向均達到精確水平。水平偏差過大會導致氣膜厚度不均，影響浮升高度與隔振效果，甚至造成平臺單側接觸基座。
三、氣源準備
氣浮平臺需潔凈、干燥、穩(wěn)定的壓縮空氣（通常壓力為0.4–0.7MPa）。必須配備三級過濾器（除水、除油、除塵）和穩(wěn)壓閥，防止雜質堵塞微小氣孔或造成壓力波動。建議使用無油空壓機，避免潤滑油污染精密表面。
四、加載與分布
放置儀器時，確保總重量不超過平臺額定承載能力。儀器應盡量居中布置，避免偏載導致平臺傾斜。重型設備宜置于中心區(qū)域，輕型附件分布四周，維持質量分布均衡。
五、啟動與浮升
先開啟氣源，緩慢打開進氣閥門，讓平臺平穩(wěn)升起至設計浮升高度（通常5–20μm）。觀察平臺是否平穩(wěn)懸浮，有無晃動或局部觸碰。待平臺穩(wěn)定后（約1-2分鐘），再啟動精密儀器進行測量。
六、運行維護與安全
實驗結束后，先關閉儀器電源，再緩慢釋放氣源，讓平臺平穩(wěn)降落；
定期檢查氣路接頭有無漏氣，清潔過濾器濾芯；
臺面保持清潔，避免金屬碎屑或液體流入氣孔；
嚴禁在平臺上進行敲擊、鉆孔等產生沖擊的操作。
更新時間：2025-10-23
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